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中国首台光刻机造出来是真的吗

提问:留学帝   分类:精选问答
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留学帝

是真的。

光刻机,又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等,是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。我国很早就在研发光刻机,之前生产出来的只不过是低端的光刻机。

2016年,上海光电就生产制造出了90纳米的光刻机,占据着我国市场80%的份额,虽说低端,但满足大多数需求是够的。象尖端手机需要的芯片我们目前还被西方国家卡脖子。但在国家的大力支持下,在国人日夜的攻坚下,上海光电28纳米光刻机已研发成功,今年明年将量产。后续我们还将继续突破。

2018年11月29日,国家重大科研装备研制项目“超分辨光刻装备研制”通过验收。该光刻机由中国科学院光电技术研究所研制,光刻分辨力达到22纳米,结合双重曝光技术后,未来还可用于制造10纳米级别的芯片。

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