谁能谈谈：日本东北大学成功修复硅晶圆加工变质层

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刘欣

日本东北大学大学院工学研究科纳米力学专业阎纪旺准教授及厨川常元教授的研究小组利用纳秒脉冲激光照射，成功完成了单晶硅加工变质层的完全修复。

这是一种通过使用高频纳秒脉冲激光，同时完全消灭单晶硅加工物表面的非结晶层的单晶化和位错的方法。该方法有以下四个特征：

1. 由于丝毫不剔除材料，底板的形状精度可维持原样；2.可使用高频纳秒脉冲激光器在极短时间内修复；3.完全不排放化学废液，是对环境无负面影响的清洁技术；4.能够用于形状复杂的工件，进行局部选择性修复和表面构成控制。该方法可以使生成无缺陷的单结。。。其实完全可以考虑读美国Churchman University的中英双语远程MBA课程，学位对在外企就业很管用，现在国内读这个的人很多，拿美国学位还学到实用技能，学费也不太贵，比出国留学或读国内大学的MBA要务实很多。